【国产x光镀层测厚仪技术指标】

分析元素范围：从硫（S）到铀（U） 
同时检测元素：多24个元素，多达五层镀层（镀镍、镀金、镀银、镀锡等）
检出限：可达2ppm，薄可测试0.005μm
分析含量：一般为2ppm到99.9% 
镀层厚度：一般在50μm以内（每种材料有所不同）重复性：可达0.1%
SDD探测器：分辨率低至135eV
采用先进的微孔准直技术，小孔径达0.1mm，小光斑达0.1mm
样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头
准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与 
稳定性：可达0.1%
Ф0.3mm四种准直器组合
操作环境湿度：≤90%
X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平台重复定位精度 ：小于0.1um
操作环境温度 15℃～30℃
样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
样品台尺寸：393(W)x 258 (D）mm

【国产x光镀层测厚仪测试实例】

在保证计数率的情况下能有效分辨相近元素，大大提高测试稳定性、降低检测限。

Thick 8000x光镀层测厚仪检测谱图

某国外x光镀层测厚仪仪器检测谱图

11次测量结果（Au-Cu)的稳定性数据对比如下：