艺慈 X射线镀层膜厚仪技术指标
X射线激发源：5OKV/1000μA-钨靶X光管及高压电源
探测器及分辨率：SDD探测器，分辨率140±5eV
分析元素范围：原子序数16（S）～92（U）
分析元素及层数：一次可同时分析多达24种元素及5层镀层
分析厚度范围：检测覆盖层厚度一般在50μm以内
检出限：镀层金属元素厚度薄可达0.005μm
定位精度：0.001mm
测量时间：10s及以上
样品平台移动范围：120mm×120mm
样品腔升降平台移动高度：0～150mm
工作环境要求
工作电源：交流220±5V
周围不能有强电磁干扰
环境温度要求：15℃～30℃
环境相对湿度：<70%
艺慈 X射线镀层膜厚仪性能优势
1.精密的三维移动平台
2.的样品观测系统
3.先进的图像识别
4.轻松实现深槽样品的检测
5.四种微孔聚焦准直器，自动切换
6.双重保护措施，实现无缝防撞
7.采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度
全自动智能控制方式，一键式操作!
开机自动自检、复位；
开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样；
关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦；
