X荧光光谱仪可分为能量色散(EDXRF)和波长色散(WDXRF)两大类，随后将详细介绍。可分析的元素及检测限主要取决于所用的光谱仪系统。

1、由样品制备和样品自身引起的误差：

（1） 样品的均匀性。

（2） 样品的表面效应。

（3） 粉末样品的粒度和处理方法。

（4） 样品中存在的谱线干扰。

（5） 样品本身的共存元素影响即基体效应。

（6） 样品的性质。

（7） 标准样品的化学值的准确性。

 

2、引起样品误差的原因：

（1）样品物理状态不同，样品的颗粒度、密度、光洁度不一样；样品的沾污、吸潮，液体样品的受热膨胀，挥发、起泡、结晶及沉淀等。

（2）样品的组分分布不均匀 样品组分的偏析、矿物效应等。

（3）样品的组成不一致 引起吸收、增强效应的差异造成的误差

（4）被测元素化学结合态的改变 样品氧化，引起元素百分组成的改变；轻元素化学价态不同时，谱峰发生位移或峰形发生变化引起的误差。

（5）制样操作 在制样过程中的称量造成的误差，稀释比不一致，样品熔融不*，样品粉碎混合不均匀，用于合成校准或基准试剂的纯度不够等。

 

3、样品种类样品状态一般有固体块状样品、粉末样品和液体样品等。

（1）固体块状样品 包括黑色金属、有色金属、电镀板、硅片、塑料制品及橡胶制品等，其中金属材料占了很大的比例。

（2）粉末样品 包括各种矿产品，水泥及其原材料，金属冶炼的原材料和副产品如铁矿石、煤、炉渣等；还有岩石土壤等。

（3）液体样品 油类产品、水质样品以及通过化学方法将固体转换成的溶液等。

 

4、X荧光光谱仪分析法中不同样品有不同的制样方法。金属样品如果大小形状合适，或者经过简单的切割达到分析的要求，只需表面抛光，液体样品可以直接分析，大气尘埃通常收集在滤膜上直接进行分析。而粉末样品的制样方法就比较复杂。